На главную 8-800-200-42-25
info@intertech-corp.ru
service@intertech-corp.ru
 
advanced search
Английская версия сайта Русская версия сайта
Lab equipment Elemental and isotopic analysis Molecular analysis Surfaces and Nanostructures Thermal analysis and rheology Environmental air and stack emission monitoring Industrial process analisys and monitoring
Оптические и стилусные профилометрыНаномеханические испытанияРФЭ и Оже-спектрометрыСистемы микроанализа для электронных микроскоповСубмикронная ИК-спектроскопияСканирующая зондовая микроскопияАнализаторы толщины пленок FilmetricsСтандарты для калибровки оборудования для исследования поверхностиЗонды АСМ Виброзащита высокоточного оборудования

Анализаторы толщины пленок Filmetrics - F3-sX

Производители
Ближайшие семинары
19.10.2021 - 22.10.2021
Курс повышения квалификации по методам термического анализа
г. Москва, НИТУ "МИСиС"
Читать далее»
Больше семинаров


Новые разработки
Элементный анализ
Молекулярный анализ
Термоанализ и реология
 


задать вопрос менеджеру  


F3-sX


Производитель: Filmetrics
F3-sX
Увеличить

Семейство анализаторов толщины F3-sX предназначено для определения толщины полупроводниковых и диэлектрических пленок толщиной от 15 нм до 3 мм. Для толстых пленок характерна более высокая шероховатость и меньшая однородность, что преодолевается за счет использования источника с размером пятна 10 мкм.

Для анализа пленок и пластин толщиной от 10 мкм до 3 мм используется источник ближнего ИК излучения (суперлюминесцентный диод). В случае необходимости он может быть дополнен источником излучения видимой части спектра для анализа пленок толщиной от 15 нм.

Основные области применения систем F3-sX:

  • Анализ толщины пластин кремния (включая сильно легированный кремний)
  • Конформальные покрытия на полупроводниках
  • Анализ отказа интегральных схем
  • Анализ толщины толстых слоев фоторезиста (например, SU-8)

Дополнительные аксессуары включают в себя моторизованный столик для картирования, видеокамеру для визуализации места измерения и др.

 


Назад


About usAnalytical equipmentLIMS SolutionsSupportProjectsContactsMap
Тел/факс:(495)232-4225
E-mail:info@intertech-corp.ru
Политика кофиденциальности Создание сайта Wilmark Design