Внимание! Сайт находится на реконструкции, некоторые разделы могут не работать. Приносим извинения за неудобства.

На главную info@intertech-corp.ru
service@intertech-corp.ru
 
advanced search
Английская версия сайта Русская версия сайта
Lab equipment Thermal analysis and rheology Industrial process analisys and monitoring

Анализ поверхности и наноструктур - Theta Probe

Последние новости
[26.01.2022]
Реконструкция сайта
[14.01.2022]
Анонс. Курс повышения квалификации «Физико-химические методы анализа. Реометрия: теория и практика»
Читать далее»
[13.01.2022]
Реометры серии Discovery HR теперь в Реестре СИ
Читать далее»
[02.12.2021]
Современные имплантаты для замены сердечного клапана служат дольше. Оборудование TA Instruments для кардиохирургии
Читать далее»
[26.11.2021]
ВЕБИНАР TA Instruments. Методы измерения температуро- и теплопроводности
Читать далее»
[24.11.2021]
ВЕБИНАР TA Instruments. Управление тепловым потоком батарей с использованием изотермической калориметрии
Читать далее»
[22.11.2021]
ВЕБИНАР TA Instruments. Измерение влияния влажности на свойства материалов
Читать далее»
[26.10.2021]
Завершен курс по методам термического анализа-2021
Читать далее»
...История новостей
Ближайшие семинары
19.10.2022 - 21.10.2022
Курс повышения квалификации «Физико-химические методы анализа. Реометрия: теория и практика»
НИТУ «МИСиС» (г. Москва, Ленинский пр-т, д. 6, м. Октябрьская)
Читать далее»
19.10.2021 - 22.10.2021
Курс повышения квалификации по методам термического анализа
г. Москва, НИТУ "МИСиС"
Читать далее»
Больше семинаров


Новые разработки
Элементный анализ
Молекулярный анализ
Термоанализ и реология
 


задать вопрос менеджеру  


Theta Probe


 
Области применения: Атомная промышленность
Микроэлектроника
Наука
Материаловедение
Анализ покрытий
Спектрометр Theta Probe в стандартной конфигурации

 

THETA PROBE –прорыв в области анализа поверхности и различных покрытий методами электронной спектроскопии. Позволяет проводить количественный и качественный анализ поверхности различных материалов и исследование сверхтонких плёнок. Прибор обладает уникальной функцией построения карт распределения химических элементов по поверхности, карт толщин покрытий, распределения примесей и т.д. Уникальная методика РФЭС с угловым разрешением (PARXPS) позволяет проводить широкий спектр неразрушающих исследований на неподвижном образце (определение последовательности слоёв, распылительное профилирование, анализ толщины скрытых слоёв, анализ однородности толщины, состава слоев и концентрации элементов в них и т.д.). Система является уникальной в своём роде, и при иcпользовании запатентованной методики PARXPS разрешение по глубине при неразрушающем профилировании составляет <0.1 нм. 

В базовой комплектации прибор включает:

• полусферический анализатор с двойной фокусировкой;
• многоэлементную систему вводных линз RADIAN для спектроскопии;
• многоканальный двумерный детектор для спектроскопии и PARXPS;

Микрофокусный монохроматический источник рентгеновского излучения
• монохроматор 250 мм (круг Роуланда);
• микрофокусная электронная пушка и многопозиционный алюминиевый анод;
• термостатированная система управления кристаллом и манипуляторы;
• минимальный размер пятна - от 15 мкм

Комбинированная ионно-электронная пушка для зарядовой нейтрализации
• Нейтрализация заряда
• Функция электростатического отклонения для точной настройки
• Источник низкоэнергетических электронов

Ионная пушка
• Очистка поверхности образца, распылительное профилирование
• Дифференциальная откачка

Наблюдение за образцом
• Окно с защитой от рентгеновского излучения 
• Микроскоп для оптимизации положения образца с CCD камерой

 

Профиль

Профиль распределения концентрации по глубине слоя оксинитрида кремния, полученный при помощи прибора Theta Probe.

 

3D представление распределения толщины оксида по поверхности пластины диаметром 200 мм.

химическая карта

Химическая карта распределения дозы азота по поверхности пластины диаметром 300 мм.

 

За любой дополнительной информацией, пожалуйста, обращайтесь в офис компании Intertech Corporation. 


Назад


About usAnalytical equipmentLIMS SolutionsSupportProjectsContactsMap
Тел/факс:(495)232-4225
E-mail:info@intertech-corp.ru
Политика кофиденциальности Создание сайта Wilmark Design